東北大学
学際科学フロンティア研究所

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島津グループの魚本幸さんと網野泰知郎さんが「低温接合と三次元実装に関する国際ワークショップ(LTB-3D 2021)」においてそれぞれ受賞

2021.11.01

「低温接合と三次元実装に関する国際ワークショップ(LTB-3D 2021)」において、本研究所の魚本 幸さんが「Best Presentation Award」を、網野 泰知郎さんが「Best Student Presentation Award」を、それぞれ受賞しました。
 
【会議名】
2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2021)
低温接合と三次元実装に関する国際ワークショップ
主催:IMSI
後援:IEEE(米国電気学会)、JSAP(日本応用物理学会)、等
期日:2021年10月5日~10月11日(Online)
 
【Best Presentation Award】
魚本 幸さん(先端学際基幹研究部、島津研究室)職員
題目:Atomic Diffusion Bonding using AlN films
著者:M. Uomoto, H. Yoshida, T. Shimatsu, T. Saito, T. Moriwaki, N. Kato, Y. Miyamoto, and K. Miyamoto
 
【Best Student Presentation Award】
網野 泰知郎さん(先端学際基幹研究部、島津研究室)博士前期課程2年
題目:Surface Contamination Effects on Bonding Performance in Atomic Diffusion Bonding of Wafers using Amorphous Si Thin Films
著者:T. Amino, M. Uomoto, T. Shimatsu
 
受賞日:2021年10月11日
 
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