東北大学 島津研究室は室温接合技術と磁性薄膜の研究室です。

【薄膜形成装置（磁性金属膜用）】

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　　　　　UHV-13極　　　　　　　　　　　　　UHV-10極　　　　　　　　　　　　　　UHV-7極
　DC,RFマグネトロンスパッタ　　　　DC, RFマグネトロンスパッタ装置 　 DC, RFマグネトロンスパッタ装置

　　
HV-6極DCマグネトロンスパッタ装置　HV-4極DCマグネトロンスパッタ装置　HV-3極DCマグネトロンスパッタ装置
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（斜め入射タイプ）　　

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【薄膜形成装置（室温接合装置）】

　　
　UHV-真空中原子拡散接合装置　　　　　　　　　UHV-5極　　　　　　　 HV-4極DCマグネトロンスパッタ装置
　　　　　　 (DC2極)　　　　　　　　 DC, RFマグネトロンスパッタ装置　　 （大気中接合用薄膜形成装置）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 （真空中，大気中接合専用）

　
HV-2極DCマグネトロンスパッタ装置　HV-3極DCマグネトロンスパッタ装置
　　（真空中加圧接合装置）　　　　　　（大気中接合用薄膜形成装置）　

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【処理装置，測定装置】

　　
　　　ドライエッチング装置　　　　　　　　磁界中熱処理装置　　　　　　　　　　　　X線回折装置

　　　　
　　 AFM　　　　　　　VSM(3T)　　　トルク磁力計（1.8T）　パルスVSM　　　　パルスAHE曲線測定装置
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（温度変化用）

その他： 磁界中熱処理装置（1.5 T）， 小型VSM，磁気抵抗測定装置， カー効果磁化極瀬測定装置，マイクロカー効果測定装置，薄膜磁歪測定装置，等

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