このサイトへのお問い合わせは、東北大学学際科学フロンティア研究所 増本研究室 広報係まで TEL：022-795-4405
増本研究室が所有する装置の一部を紹介します。 A part of our instruments.
・FE-SEM(HITACHI,S-4300)EDAX装備
・XRD(Rigaku)
・1DK(2口IH付)
・更衣室(シャワー完備) Locker rooms
・仮眠室 Napping room
・各種新聞とコーヒー(1杯20円) News paper and coffee
など
ECRプラズマスパッタ装置 Electron Cyclotron Resonance sputtering system
ヘリコンスパッタ装置 Helicon sputtering system
RF大型スパッタ(共有装置) Sputtering system
MOCVD装置 Metal Organic Chemical Vapor Depsition system
RF小型スパッタ Sputtering system
ホットプレス Hot press
高温電気炉 High temperature furnace
急速加熱炉 Rapid furnace
真空炉 Vacuum furnace
X線回折装置(XRD) X Ray Diffractionmeter
蛍光X線分析装置(XRF:Rigaku) X ray fluorescence spectrometer
走査型プローブ顕微鏡(AFM,MFM) Scanning probe microscope
誘電率測定計・強誘電テスター Dielectric related mesurement system
エリプソメータ Ellipsometer
透過率測定計 Transmittance measurement system
ダイヤモンドカッター Diamond cutter
研磨機 Polishing machine
利用可能な学際研共通設備 Avairable facilities
・XRD(Rigaku)
・1DK(2口IH付)
・更衣室(シャワー完備) Locker rooms
・仮眠室 Napping room
・各種新聞とコーヒー(1杯20円) News paper and coffee
など