東北大学
学際科学フロンティア研究所

研究会等のお知らせ

第18回 FRIS Hub Meeting(オンライン)

2021年2月25日 11時~

オンライン開催
 
 FRIS Hub Meetingは、FRISの研究者全員が参加する研究発表セミナーで、月に一度8月を除く毎月第4木曜日に開催しています。これまで参加者はFRIS内の研究者を対象としていましたが、2019年12月より、対象を東北大学の研究者、学生へと広げました。
また、今回から学際融合東北拠点のTI-FRIS Hub Meetingと合同開催することとなりました。
 
 言語は日本語と英語を混ぜて使用しています。異分野研究者同士では共通の常識や考え方は望めません。聴衆は発表中にどんどん質問し、討論し、理解を深めるようにしています。積極的にご参加ください。
 
第18回 FRIS Hub Meeting(TI-FRIS Hub Meetingとの合同開催)
日時:2021年2月25日(木)11:00-12:00 
開催方式:オンライン(Zoom)
事前登録が必要になります。参加申し込みフォームよりご登録ください。

発表者:
島津 武仁 教授(学際科学フロンティア研究所/情報・システム)

発表タイトル:
原子拡散接合法:原子再配列現象を利用した室温接合技術とデバイス形成
(Atomic Diffusion Bonding: Room Temperature Bonding of Wafers for Creating Various New Devices)
 
要旨:
室温接合技術は、電子デバイスが形成されたウエハや熱膨張係数の異なる異種ウエハの接合に必要であり、新しいデバイス形成に有用な技術である。薄い金属薄膜を利用した原子拡散接合法は、接触界面において生じる原子再配列や表面拡散等の物理現象を、室温でウエハ全体に瞬時に生じさせて接合する技術である。既に一部の電子デバイスの量産に用いられているが、光学、パワー、MEMS等のデバイスだけでなく、精密部品や、製薬、宇宙科学等に用いるデバイス形成への応用も研究されている。この技術の概要と応用研究について紹介する。
 
 
PAGE TOP