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東北大学 島津研究室は超高真空技術を専門とする研究室です。

TEL. 022-217-5493

〒980-8577 仙台市青葉区片平2丁目1番1号

研究設備一覧Research epuipments

【薄膜形成装置(磁性金属膜用)】


  
     UHV-13極             UHV-10極              UHV-7極
 DC,RFマグネトロンスパッタ    DC, RFマグネトロンスパッタ装置   DC, RFマグネトロンスパッタ装置

  
HV-6極DCマグネトロンスパッタ装置 HV-4極DCマグネトロンスパッタ装置 HV-3極DCマグネトロンスパッタ装置
                                       (斜め入射タイプ)  


【薄膜形成装置(室温接合装置)】


  
 UHV-真空中原子拡散接合装置         UHV-5極        HV-4極DCマグネトロンスパッタ装置
       (DC2極)         DC, RFマグネトロンスパッタ装置   (大気中接合用薄膜形成装置)
                    (真空中,大気中接合専用)

 
HV-2極DCマグネトロンスパッタ装置 HV-3極DCマグネトロンスパッタ装置
  (真空中加圧接合装置)      (大気中接合用薄膜形成装置) 


【処理装置,測定装置】


  
   ドライエッチング装置        磁界中熱処理装置            X線回折装置

    
   AFM       VSM(3T)   トルク磁力計(1.8T) パルスVSM    パルスAHE曲線測定装置
                                         (温度変化用)

その他: 磁界中熱処理装置(1.5 T), 小型VSM,磁気抵抗測定装置, カー効果磁化極瀬測定装置,マイクロカー効果測定装置,薄膜磁歪測定装置,等


バナースペース

東北大学 島津研究室

〒980-8577
仙台市青葉区片平2丁目1番1号

TEL 022-217-5493
FAX 022-217-5486
Mail lab.shimatsu(@)fris.tohoku.ac.jp